臨海無(wú)油真空泵相對(duì)有油真空泵來(lái)說(shuō)，抽取的氣體不會(huì)摻雜油氣。可獲得潔凈的真空環(huán)境。另外，如果抽取的氣體對(duì)油有腐蝕性，或者含大量水分等可破壞油的物質(zhì)，那就需要無(wú)油真空泵而不能使用有油真空泵。因?yàn)橛杏驼婵毡美锩娴挠鸵话闶怯脕?lái)潤(rùn)滑和密封的。油被腐蝕或者乳化等，真空泵就沒(méi)辦法正常運(yùn)行了。